TEM (Transmission Electron Microscopy) ve SEM (Scanning Electron Microscopy) analizi arasındaki temel farklar şunlardır: Görüntü Oluşturma: SEM, yüzeydeki elektronların saçılmasını analiz ederek görüntü oluşturur. TEM, numunenin içinden geçen elektronları tespit ederek görüntü oluşturur. Numunenin Yapısı: SEM, numunenin yüzeyi ve bileşimi hakkında bilgi verir. TEM, numunenin iç yapısı, morfolojisi, kristal yapısı ve stres durumu gibi detayları sunar. Numunenin Kalınlığı: SEM için numune kalınlığı konusunda bir kısıtlama yoktur. TEM için numune çok ince (genellikle 150 nm'den ince) olmalıdır. Çözünürlük: SEM'in çözünürlük sınırı yaklaşık 0,5 nm'dir. TEM, 0,1 nm'ye kadar çözünürlük sağlayabilir. Kullanım Alanı: SEM, yüzey analizi, tozlar, cilalanmış ve aşındırılmış mikro yapılar, IC yongaları ve kimyasal ayrışma için kullanılır. TEM, nanoteknoloji, yarı iletkenler, malzeme bilimi ve elektronik gibi alanlarda, özellikle dislokasyonlar, küçük çökeltiler, tane sınırları ve diğer kusur yapılarının görüntülenmesinde kullanılır.