SEM (Taramalı Elektron Mikroskobu) analizi, aşağıdaki adımlarla gerçekleştirilir: 1. Numune Hazırlığı: Numune, en uzun boyutta dört inç (kabaca 10 cm) ve kalınlığı yaklaşık olarak bir inç (2,5 cm) olacak şekilde hazırlanır. 2. Numune Yerleştirme: Numune, aletin numune odasına yerleştirilir. 3. Analiz: SEM cihazı, yüksek enerjiye odaklanmış bir elektron demeti kullanarak numune bölgesini büyütür. 4. EDS (Enerji Dağılım Spektroskopisi) ile Kimyasal Analiz: SEM cihazına entegre edilen EDS detektörü ile numunenin kimyasal bileşimi analiz edilir. SEM analizi, malzeme bilimi, jeoloji, biyoloji, nanoteknoloji ve arkeoloji gibi birçok bilim alanında ve endüstride kullanılır.