Yer altı buharları, genellikle volkanik bölgelerde yer altındaki magma odalarının ısıtmasıyla oluşur. Süreç şu şekilde gerçekleşir: 1. Magma, yer kabuğunun alt kısımlarında yükselir ve çevresindeki kayaçları ısıtır. 2. Bu ısı, yer altındaki suyu kaynatır ve yüksek basınç altında buharlaşmasını sağlar. 3. Basınçlı buhar, zayıf noktalardan, çatlaklardan yeryüzüne doğru yükselmeye başlar. Bu tür kaynaklar, fay kaynakları ve gayzerler olarak adlandırılır. Ayrıca, yer altı suları da belirli koşullarda buharlaşarak yer yüzüne ulaşabilir, ancak bu durum genellikle sıcak su ve buharın yer altından aniden büyük gürültülerle fışkırması şeklinde olmaz.