Floresanda iyonizasyon, elektronların yüksek enerji kazanması ve gaz atomlarıyla çarpışması sonucu gerçekleşir. Bu süreçte: 1. Serbest elektronlar, anoda doğru hareket ederken gaz atomlarıyla sürekli çarpışır. 2. Elektronların hareket enerjisi, gaz basıncının düşük ve gerilimin yeterli olduğu durumlarda oldukça büyük olur. 3. Büyük enerji kazanmış elektronlar, gaz atomlarıyla çarpıştıklarında bir veya birden fazla elektron koparır. 4. Yeni ortaya çıkan elektronlar, hızlanarak diğer atomlara çarpar ve zincirleme halinde yeni serbest elektronlar oluşturur.