Mikro test cihazları, farklı prensiplere dayanarak çalışabilir, ancak genel olarak vakum bozunma yöntemi ve çift sensör teknolojisi gibi yöntemler kullanılır. Vakum bozunma yöntemi ile çalışan mikro test cihazları şu şekilde çalışır: 1. Numune hazırlığı: Numune, deney odasına sabitlenir ve negatif basınç uygulanır. 2. Basınç dengeleme: Herhangi bir esneme veya deformasyonun önlenmesi için basınç dengelenir. 3. Test aşaması: Vakumun azalma evresinde, basınçta meydana gelen herhangi bir artış bir sızıntı olduğunu gösterir. 4. Havalandırma: Oda, atmosferik basınca geri döner. 5. Geçti/Kaldı değerlendirmesi: Sistem, basınç verilerini değerlendirerek numunenin geçip geçmediğini belirler. Çift sensör teknolojisine sahip mikro test cihazları ise, yük ve derinlik eğrilerini analiz ederek örneğin mekanik özelliklerini belirler.