MEMS (Mikro Elektro Mekanik Sistemler), mekanik ve elektrik bileşenlerini mikro ölçekte entegre eden minyatür cihazlardır. MEMS'in bazı kullanım alanları: Otomotiv endüstrisi: Hava yastıkları, araç güvenlik sistemleri, otomatik kapı kilitleri, aktif süspansiyon sistemleri. Endüstriyel alan: Deprem algılama ve gaz kesme sistemleri, makinelerin verimlilik takibi. Askeri alan: Tanklar, uçaklar, askeri ekipmanlar. Biyoteknoloji: Teşhis ve tedavi cihazları, vücut içi veya dışı implantlar. Ticari alan: Yazıcılar, ivme sensörleri, sabit diskler, jiroskoplar, basınç sensörleri. Uzay araştırmaları: İvmeölçerler, jiroskoplar, basınç sensörleri. MEMS, minyatürleştirme, entegrasyon, hassasiyet, toplu imalat ve düşük güç tüketimi gibi özelliklere sahiptir.