MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), mekanik ve elektronik bileşenleri mikro ölçekte entegre eden minyatür sistemler olarak tanımlanır. MEMS'in kullanım alanları ve işlevleri: 1. Basınç Sensörleri: Ortamdaki basıncı ölçer ve elektrik sinyaline dönüştürür. 2. İvmeölçerler: İvme kuvvetlerini ölçer, hava yastığı açılma sistemleri ve fiziksel aktivite takibi gibi alanlarda kullanılır. 3. Jiroskoplar: Açısal hızı veya dönme hareketini ölçer, navigasyon ve hareket algılama için gereklidir. 4. Tüketici Elektroniği: Akıllı telefonlar, tabletler ve giyilebilir cihazlarda ekran yönü değişiklikleri ve oyun için hareket algılama gibi özellikleri etkinleştirir. 5. Otomotiv: Araç dengesi, navigasyon ve güvenlik sistemlerinde kullanılır. 6. Sağlık Hizmetleri: Tıbbi cihazlarda ve işitme cihazlarında kullanılır. 7. Endüstriyel ve Çevresel İzleme: Ev aletleri, güvenlik sistemleri ve eğlence cihazlarında çevresel izleme ve kontrol için kullanılır. MEMS, minyatürleştirme, düşük güç tüketimi, yüksek hassasiyet ve maliyet verimliliği gibi avantajlar sunar.