MEMS (Mikro Elektro Mekanik Sistemler) teknolojisinin kullanıldığı bazı alanlar: Otomotiv: Hava yastıkları, araç güvenlik sistemleri, otomatik kapı kilitleri, aktif süspansiyon sistemleri, yol bilgisayarları. Endüstriyel: Deprem algılama ve gaz kesme sistemleri, makine verimliliği ve arıza tespiti, şok ve eğim algılama. Askeri: Tanklar, uçaklar, askeri ekipmanlar. Biyoteknoloji: Polimeraz Zincir Reaksiyonu (PCR), DNA mikro iyileştirme, biyoçipler, ilaç tarama sistemleri. Ticari: Yazıcılar, cep telefonları, dijital kameralar, sabit diskler, denge sağlamak için jiroskoplar. Uzay Araştırmaları: İvme ve alet navigasyonu için jiroskoplar, basınç sensörleri, RF anahtarları. Ayrıca, MEMS teknolojisi, enerji tüketimini minimize edebilen MEMS Nöristör gibi yenilikçi teknolojilerde de kullanılmaktadır.