İlk buhar makinesi, 1698 yılında İngiliz mühendis Thomas Savery tarafından İngiltere'de icat edilmiştir. Ancak, buhar makinesinin temel ilkeleri daha önce de geliştirilmiştir. Örneğin, Mısırlı mühendis Heron, birinci yüzyılda bir tür buhar türbini yapmıştır. Önemli gelişmeler: 1712: Thomas Newcomen, Savery'nin makinesini geliştirerek daha verimli bir buhar makinesi tasarlamıştır. 1764: İskoç mühendis James Watt, Newcomen'in makinesini daha da iyileştirerek buhar makinesinin verimliliğini artırmıştır.