Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Mikroelektromekanik sistemler (MEMS), mekanik ve elektrik bileşenlerini minyatür bir silikon substrat üzerinde birleştiren küçük entegre cihazlardır 14.
Temel bileşenleri:
- Sensörler: Hareket, basınç, kimyasal seviyeler gibi fiziksel olayları algılar 13.
- Aktüatörler: Fiziksel hareket veya eylem sağlar 13.
- Elektronik devre: Sinyalleri işler ve aktüatörleri kontrol eder 1.
- Mekanik yapılar: Cantileverler, dişliler, membranlar gibi fiziksel işlevleri yerine getiren elemanlar 1.
Çalışma prensipleri: Termal hareket, piezoelektrik transdüksiyon, kapasitif algılama ve elektrostatik hareket gibi yöntemleri içerir 1.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: