Mikroelektromekanik sistemler (MEMS), mekanik ve elektrik bileşenlerini minyatür bir silikon substrat üzerinde birleştiren küçük entegre cihazlardır. Temel bileşenleri: - Sensörler: Hareket, basınç, kimyasal seviyeler gibi fiziksel olayları algılar. - Aktüatörler: Fiziksel hareket veya eylem sağlar. - Elektronik devre: Sinyalleri işler ve aktüatörleri kontrol eder. - Mekanik yapılar: Cantileverler, dişliler, membranlar gibi fiziksel işlevleri yerine getiren elemanlar. Çalışma prensipleri: Termal hareket, piezoelektrik transdüksiyon, kapasitif algılama ve elektrostatik hareket gibi yöntemleri içerir. Kullanım alanları: MEMS, biyomedikal cihazlar, tüketici elektroniği, otomotiv sensörleri, havacılık ve endüstriyel otomasyon gibi çeşitli alanlarda uygulama bulur.