Mikro sensörler, çevrelerindeki fiziksel veya kimyasal değişiklikleri algılayarak bu değişiklikleri elektrik sinyallerine dönüştüren küçük cihazlardır 2. Çalışma prensipleri, sensörün türüne ve tasarımına bağlı olarak değişiklik gösterir, ancak temel amaç algılanan veriyi işlenebilir bir sinyale dönüştürmektir 2.
Mikro sensörlerin çalışma aşamaları:
- Algılama: Hedeflenen fiziksel veya kimyasal parametrenin algılanması 2.
- Dönüştürme: Algılanan parametrenin elektriksel, mekanik veya optik bir sinyale dönüştürülmesi 2.
- Sinyal İşleme: Elektriksel sinyalin güçlendirilmesi, filtrelenmesi ve dijital bir formata dönüştürülmesi 2.
- Veri İletimi: Dijital verinin kablosuz olarak merkezi birime iletilmesi 2.
Mikro sensörler, kapasitif algılama, piezodirençli algılama, piezoelektrik algılama ve termal algılama gibi çeşitli transdüksiyon mekanizmaları kullanır 1.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: