Argon florür (ArF), çeşitli endüstriyel ve bilimsel süreçlerde önemli işlevlere sahiptir: 1. Yarı İletken Çip Üretimi: Argon florür, bilgisayar çiplerinin üretiminde kullanılan fotolitografi sürecinde, silikon wafer'lar üzerindeki desenlerin oluşturulmasında kullanılır. 2. Excimer Lazerler: ArF gazı, excimer lazerlerde ultraviyole lazer radyasyonu patlamaları üretmek için kullanılır ve bu lazerler, yüksek çözünürlük gerektiren malzeme işlemede çok yönlü bir UV kaynağı sağlar. 3. Lazer Teknolojisi: Argon florür, lazerlerin yaydığı morötesi ışığın, bar-kod okuyucuları ve optik disk sürücüleri gibi teknolojilerde kullanılmasını mümkün kılar.