Argon florür (ArF), çeşitli endüstriyel ve bilimsel uygulamalarda kullanılan bir gazdır. Başlıca kullanım alanları şunlardır: Yarı iletken endüstrisi: ArF lazer gazı, fotolitografi süreçlerini mümkün kılarak entegre devrelerin daha küçük özellik boyutlarıyla üretilmesini sağlar. Tıbbi uygulamalar: Refraktif göz cerrahisinde, odaklanmış UV ışığı ile korneanın doğru bir şekilde yeniden şekillendirilmesinde kullanılır. Bilimsel araştırma: Spektroskopide, moleküler ve atomik yapıların analizinde önemli bir rol oynar. Endüstriyel üretim: Delme, kesme ve çeşitli malzemelerin yüzey modifikasyonunu içeren mikro işleme uygulamalarında kullanılır. Ayrıca, argon florür, yüksek enerjili lazer sistemleri için ideal kılan benzersiz özellikler sunar.