Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Vakum pompası valfi, vakum sisteminin bir bileşeni olup, hava akışının yönünü değiştirmek, gaz akışının boyutunu ayarlamak, boru hattını kesmek veya vakum sistemine bağlamak için kullanılır 1.
Valflerin bazı türleri şunlardır:
- Sürgülü valfler: Yüksek veya ultra yüksek vakum uygulamaları için kullanılır 1.
- Kelebek vanalar: Boru hattındaki akış yönüne dik açılarda dönerek vanayı sızdırmaz hale getirir 1.
- Transfer vanaları: Yarı iletken imalat ekipmanlarında yük kilitli vakum odaları ile transfer odaları arasında kullanılır 1.
- Küresel vanalar: Çeyrek dönüşlü düz akış valfleridir 1.
Ayrıca, vakum pompalarında sıvı halkalı vakum pompa sistemleri de bulunur ve bu sistemler, düşük ila orta vakum uygulamalarında kullanılır 3.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: