Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Spin kaplama işlemi genellikle şu adımlardan oluşur:
- Hazırlık: Çözelti, cam altlık üzerine damlatılır 23.
- Döndürme: Altlık, yüksek dönme hızlarında (tipik olarak 3000 devir/dakika) döndürülerek fazla çözücü uzaklaştırılır ve çözeltinin altlık yüzeyine yayılması sağlanır 23.
- Kurutma: Altlık yüzeyinde kalan çözücü buharlaştırılır 23.
İşlem şartları, filmin kalınlığını ve diğer özelliklerini etkiler; bunlar arasında döndürme hızı, çözeltinin viskozitesi, kuruma hızı ve katı oranı bulunur 23.
Spin kaplama, ince film üretiminde kullanılan bir yöntemdir ve genellikle mikro-elektromekanik sistemler, biyoloji, malzemeler, yarı iletkenler ve optik kaplama gibi alanlarda uygulanır 5.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: