MEMS (Mikroelektromekanik Sistemler) sensörleri şu şekilde çalışır:
- Fiziksel Uyaranın Tespiti: MEMS sensörünün çekirdeği, basınç, ivme, sıcaklık veya kimyasal varlık gibi çevreden gelen belirli bir fiziksel uyarıya yanıt vermek üzere tasarlanmış mikro ölçekli bir mekanik yapıdır 14.
- Mekanikten Elektriksele Transdüksiyon: Mekanik yapının hareketi veya deformasyonu, elektrik sinyaline dönüştürülür 14. Bu dönüşüm, kapasitif, piezodirençli, piezoelektrik veya termal gibi çeşitli mekanizmalar aracılığıyla gerçekleşir 1.
- Sinyal İşleme: Üretilen elektrik sinyali, entegre elektronik devreler tarafından işlenir 1. Bu işlem, amplifikasyon, filtreleme ve analogdan dijitale dönüştürme gibi işlemleri içerebilir 1.
- Çıktı ve Yorumlama: İşlenen sinyal, harici bir sisteme (mikrodenetleyici veya bilgisayar gibi) gönderilir ve burada daha fazla analiz edilebilir, görüntülenebilir veya karar vermek için kullanılabilir 14.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: