Soğuk buhar makinesinin bazı faydaları: Burun tıkanıklığını giderir. Cilt kuruluğunu önlemeye yardımcı olur. Solunum yolu rahatsızlıklarını hafifletir. Havadaki toz, kir ve alerjenleri suya hapsederek ortamı temizler. Kötü kokuları (yemek kokusu, sigara dumanı vb.) içine çekerek havadan uzaklaştırır. Aromaterapi için esansiyel yağlar ile kullanılabilir. Enerji tasarrufu sağlar. Soğuk buhar makineleri, sıcak buhar üreten modellere göre daha güvenli ve sessiz çalışır, bu da özellikle bebek odalarında tercih edilmesini kolaylaştırır.