Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Elektron demeti litografisi, odaklanmış bir elektron demeti ile elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir 13.
Bu teknikte elektron demeti, malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek istenilen kısımlarda malzemenin kalkmasını sağlar 13.
İki elektron demeti litografi sistemi vardır:
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: