Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Elektron demeti litografisi (EDL), odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir 12.
Bu yöntemde, elektron demeti malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlar ve böylece çizimler yapılır 1.
EDL'nin bazı kullanım alanları:
- yarı iletkenlerin ve yüzeylerin geliştirilmesi 3;
- nano devrelerin üretimi 3;
- biyo-teknoloji 3;
- hata analizi 2;
- entegre devrelerin tamiri ve modifikasyonu 2.
EDL, yüksek hassasiyeti ve detayı sayesinde günümüzün yüksek teknoloji alanlarında önemli bir yere sahiptir 3.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: