Buradasın
Elektron ışını litografisi hangi malzemelerde kullanılır?
Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Elektron ışını litografisi (EBL) çeşitli malzemelerde kullanılır, bunlar arasında:
- Yarı iletken endüstrisi 125. EBL, entegre devrelerin üretiminde, özellikle LSI (Büyük Ölçekli Entegrasyon Devreleri) gibi çok ince desen gerektiren yarı iletken parçaların oluşturulmasında kullanılır 5.
- Nanoteknoloji ve nanofotonik cihazlar 14. EBL, nano ölçekte ışık-madde etkileşimlerinden yararlanan fotonik kristaller, metamalzemeler ve plazmonik cihazların üretiminde önemli bir rol oynar 4.
- Biyolojik uygulamalar 3. EBL, manyetik malzemelerin şekillendirilmesi ve optik uygulamalar gibi alanlarda da kullanılır 3.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: