Buradasın
Elektron ışını litografisi hangi malzemelerde kullanılır?
Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
Elektron ışını litografisi (EBL), metaller, polimerler ve yarı iletkenler dahil olmak üzere çok çeşitli malzemelerde kullanılır 12.
EBL ayrıca cam gibi alt tabakalarda da uygulanabilir 1.
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: