Yazeka
Arama sonuçlarına göre oluşturuldu
EB-PVD (Elektron Işını Fiziksel Buhar Biriktirme) teknolojisi, bir hedef anotun yüksek vakum altında yüklü tungsten filaman tarafından üretilen bir elektron ışınıyla bombalandığı bir fiziksel buhar biriktirme şeklidir 25.
Bu süreçte, elektron ışını hedefteki atomların gaz fazına dönüşmesine neden olur 2. Bu atomlar daha sonra katı forma dönüşerek vakum odasındaki her şeyi (görüş hattı dahil) anot malzemesiyle ince bir tabaka halinde kaplar 2.
EB-PVD teknolojisinin bazı avantajları:
- Yüksek biriktirme hızı: Nispeten düşük alt tabaka sıcaklıklarında dakikada 0,1 ila 100 mikrometre arasında yüksek biriktirme hızı sağlar 25.
- Yüksek malzeme kullanım verimliliği: Diğer yöntemlere göre malzeme kullanım verimliliği yüksektir 2.
- Yapısal ve morfolojik kontrol: Filmlerin yapısal ve morfolojik kontrolü mümkündür 2.
Bazı dezavantajları ise:
5 kaynaktan alınan bilgiyle göre: