Vakum pompası valfi, vakum sisteminin bir bileşeni olup, hava akışının yönünü değiştirmek, gaz akışının boyutunu ayarlamak, boru hattını kesmek veya vakum sistemine bağlamak için kullanılır. Valflerin bazı türleri şunlardır: - Sürgülü valfler: Yüksek veya ultra yüksek vakum uygulamaları için kullanılır. - Kelebek vanalar: Boru hattındaki akış yönüne dik açılarda dönerek vanayı sızdırmaz hale getirir. - Transfer vanaları: Yarı iletken imalat ekipmanlarında yük kilitli vakum odaları ile transfer odaları arasında kullanılır. - Küresel vanalar: Çeyrek dönüşlü düz akış valfleridir. Ayrıca, vakum pompalarında sıvı halkalı vakum pompa sistemleri de bulunur ve bu sistemler, düşük ila orta vakum uygulamalarında kullanılır.