Subsantimetrik boyut, santimetrenin altındaki uzunluk ölçeklerini ifade eder 13. Bu terim, özellikle nanoteknoloji, mikroelektronik ve tıp gibi alanlarda kullanılır 1.

Bazı subsantimetrik ölçü birimleri:

Bu boyutlardaki ölçümler, hassasiyet gerektirir ve kuantum mekaniği gibi alanlarda önemli bir rol oynar 1.