• Buradasın

    Fotolitografi ve fotorezist nasıl çalışır?

    Yazeka

    Arama sonuçlarına göre oluşturuldu

    Fotolitografi, bir maske üzerindeki modelin çoğunlukla silisyum pul üzerine aktarılması işlemidir 13. Bu süreçte, fotorezist olarak adlandırılan ışığa duyarlı bir malzeme ile kaplanan numune yüzeyi, ışığa maruz bırakılır ve uygun çözelti ile maruz kalması sonucu model ortaya çıkar 13.
    Fotolitografinin çalışma prensibi:
    1. Coat (Kaplama) 3. Alt taş (substrate) yüzeyine ışığa duyarlı fotorezist madde uygulanır 3.
    2. Expose (Işıklandırma) 3. Kaplanan fotorezist madde, yakın ultraviyole, derin ultraviyole veya X-ray ışık kaynağı kullanılarak istenilen desenden geçirilerek ışığa maruz bırakılır 3.
    3. Develop (Geliştirme) 3. Işığın maruz kaldığı fotorezist madde, kimyasal çözücülerden geçirilir 3. Fotorezist türüne göre (pozitif ya da negatif) kimyasal çözünme olayının davranışı değişir 3.
    Fotorezist, ışığa duyarlı organik bir kimyasaldır 1. Pozitif ve negatif olmak üzere iki tipi vardır 13.
    • Pozitif fotorezist 13. Işığa maruz kalan yerler uzaklaştırılır 13.
    • Negatif fotorezist 13. Işığın temas ettiği bölgeler sertleşir, temas etmediği bölgeler çözünür 3.
    5 kaynaktan alınan bilgiyle göre:

      Yanıtı değerlendir

      5 kaynak

      1. mt.com
        1
      2. tisegagroup.com
        2
      3. knowway.org
        3
      4. tr.science44.com
        4
      5. gms-industrial.com
        5

    Konuyla ilgili materyaller

    Fotoresist çeşitleri nelerdir?

    Fotoresist çeşitleri şu şekilde sınıflandırılabilir: Kimyasal yapısına göre: Fotopolimerizasyon tipi; Foto ayrışan tipi; Foto çapraz bağlanan tipi; Kimyasal amplifikasyon tipi. Kullanım amacına göre: Düz panel ekran endüstrisinde: Renkli ve siyah fotoresistler, LCD dokunmatik ekranlar için fotoresistler, TFT-LCD pozitif fotoresistler. PCB endüstrisinde: Kuru film fotoresist, ıslak film fotoresist, ışığa duyarlı lehime dayanıklı mürekkep. Işığa tepkisine göre: Pozitif fotoresist: Işığın etkisiyle malzeme degrade olur ve geliştirici, maskelenen bölgelerde kalan kaplamayı çözer. Negatif fotoresist: Işık, malzemeyi güçlendirir (polimerizasyon veya çapraz bağlanma) ve geliştirici, maskelenmeyen bölgelerdeki kaplamayı çözer.
    5 kaynak

    Fotorezist nedir?

    Fotorezist, fotolitografi ve benzeri endüstriyel işlemlerde kullanılan, ışığa duyarlı bir malzemedir. İki ana türü vardır: 1. Pozitif Fotorezist: UV ışığına maruz kaldığında kimyasal yapısı değişir ve fotorezist geliştiricide çözünür hale gelir. 2. Negatif Fotorezist: UV ışığına maruz kaldığında polimerleşir ve daha çözünür hale gelir. Fotorezist, elektronik baskılı devre ve tümdevre üretiminde yüzeye serilerek kullanılır.
    5 kaynak