Hava pompası yerine vakum pompası kullanılabilir, ancak bu kullanım, pompanın özelliklerine ve uygulamanın gereksinimlerine bağlıdır. Vakum pompaları, hava ve gaz moleküllerini kapalı bir alandan uzaklaştırarak vakum oluşturur. Bazı vakum pompası türleri: Kök (roots) pompası: Düşük ve orta seviye vakum aralığında kullanılır. Döner pompa: Vakum düzeneğinde birinci basamak pompa olarak kullanılır. Difüzyon pompası: Vakum seviyesini 10^-6 Torr mertebesine düşürebilir. Hava pompası ve vakum pompası arasındaki farklar: Sıkıştırma oranı: Vakum pompalarının gücü, mutlak çıkış basıncı ile ölçülür. Ortam akış hızı: Vakum pompalarının akış hızı, her iki ucundaki basınca bağlıdır. Bu nedenle, belirli bir uygulama için vakum pompasının uygun olup olmadığını belirlemek için uzman bir kişiye danışılması önerilir.