Denizli ilçeleri, 1883 yılında Sarayköy, Buldan ve Tavas kazalarının bağlanmasıyla "Sancak" haline getirilmesi sonucunda ayrıldı. Daha sonra 1884 yılında Çal, 1888 yılında ise Acıpayam ilçelerinin katılımıyla Aydın'a bağlı bir mutasarrıflık oldu ve 1923 yılında Türkiye Cumhuriyeti'nin illerinden biri haline geldi.