Diyarbakır'ın eski vilayetleri arasında Urfa, Harput (Elazığ), Mardin ve Kiğı (Batı Bingöl) bulunmaktadır. Urfa: 16. yüzyıl başlarında Osmanlı sultanı Yavuz Sultan Selim tarafından alındıktan sonra Diyarbakır eyaletine sancak olarak bağlanmıştır. Harput (Elazığ): Bir ara Diyarbakır Vilayeti'ne bağlı bir sancak haline gelmiştir. Mardin: 1518 yılında Mardin Kalesi fethedildikten sonra liva (sancak) haline getirilerek Diyarbakır'a bağlanmıştır. Kiğı (Batı Bingöl): Daha önce Diyarbakır'a bağlı bir sancak iken, 1926 yılında ilçe statüsünde Erzincan'a, 1936 yılında ise Bingöl'e bağlanmıştır.