XRF (X-Işını Floresansı) ve EDS (Enerji Dağılımlı Spektroskopi) arasındaki temel farklar şunlardır: Çalışma Prensibi: XRF, bir numuneyi yüksek enerjili X-ışınlarıyla uyararak, numunenin karakteristik X-ışınları yaymasını sağlar. EDS, bir elektron mikroskobunda (genellikle SEM ile birlikte) numuneye yüksek enerjili elektronlar göndererek, bu elektronların oluşturduğu X-ışınlarını analiz eder. Uygulama Alanları: XRF, madencilik, çevre testi ve arkeoloji gibi geniş çaplı malzeme analizi gerektiren alanlarda kullanılır. EDS, malzeme bilimi, elektronik ve nanoteknoloji gibi mikro veya nano ölçekli analizlerde tercih edilir. Hassasiyet ve Çözünürlük: XRF, genellikle daha ağır elementlere karşı daha hassastır ve daha düşük konsantrasyonlarda elementleri tespit edebilir. EDS, daha yüksek çözünürlüğe sahiptir ancak hafif elementlere karşı daha az hassastır. Numune Gereksinimleri: XRF, geniş bir numune yelpazesini analiz edebilir ve genellikle minimal numune hazırlığı gerektirir. EDS, numunelerin iletken olmasını veya iletken bir malzeme ile kaplanmasını gerektirir.