XRF (X-ışını Floresansı) ve EDS (Enerji Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi) arasındaki temel farklar şunlardır: 1. Çalışma Prensibi: - XRF: Bir numuneyi yüksek enerjili X-ışınlarıyla uyararak, bu ışınların neden olduğu ikincil (fluoresan) X-ışınlarını analiz eder. - EDS: Numuneyi elektronlarla bombardıman ederek, bu elektronların neden olduğu karakteristik X-ışınlarını tespit eder. 2. Spatial Çözünürlük: - XRF: Daha düşük spatial çözünürlüğe sahip olup, geniş alan analizi için uygundur. - EDS: Yüksek spatial çözünürlüğe sahip olup, küçük ve lokalize bölgelerin analizi için idealdir. 3. Tespit Limitleri: - XRF: Daha hassas olup, düşük tespit limitlerine sahiptir ve ağır elementleri daha iyi analiz eder. - EDS: Daha az hassas olup, özellikle hafif elementler için daha yüksek tespit limitlerine sahiptir. 4. Uygulama Alanları: - XRF: Madencilik, metallurji, çevre izleme gibi geniş alanlarda kullanılır. - EDS: Malzeme bilimi, jeoloji, arıza analizi gibi alanlarda tercih edilir.