TÜBİTAK proje izleme süreci şu adımlarla gerçekleştirilir: 1. Gelişme Raporları: Proje yürütücüsü, proje sözleşmesinde belirtilen tarihlerde gelişme raporlarını TÜBİTAK'a iletmekle yükümlüdür. 2. Değerlendirme: Gelişme raporları, TÜBİTAK tarafından görevlendirilen alanında uzman danışmanlar tarafından değerlendirilir. 3. Yerinde İnceleme: TÜBİTAK, projenin bilimsel, teknik, idari ve mali açılardan incelenmesi ve denetlenmesi amacıyla proje yürütücüsünü davet edebilir veya belirleyeceği kişi ve/veya kişileri görevlendirebilir. 4. Proje Sonuç Raporu: Araştırmanın bitiş tarihini takip eden bir ay içinde, çalışmanın sonuçlarını kapsayan sonuç raporu da TÜBİTAK'a sunulmalıdır.